|
Различают 2 вида ГИС по толщине пленки:
1) Тонкопленочные;
2) Толстопленочные.
Тонкие пленки (1-2 мкм) изготавливают вакуумным напылением.
Толстые пленки (от нескольких мкм до сотен мкм) изготавливают нанесением пасты с последующим вжиганием.
Применяемые материалы для пленок:
- Проводники – серебро, алюминий, золото;
- Резисторы – тантал, хром и их сплавы;
- Конденсаторы тантал - оксид-тантал;
- Катушки индуктивности – до 3 мкГн – выполняют в виде спирали Архимеда.
|
.png)