Генераторы СВЧ перекрывают диапазон частот от 1 до 40 ГГц. Эти приборы предназначены для регулировки, настройки испытания радиоэлектронной аппаратуры и других СВЧ устройств. По типу выходного соединителя они делятся на коаксиальные и волноводные. Частотная граница этих групп приборов лежит в диапазоне 7... 18 ГГц. Имеется тенденция расширения диапазона частот генераторов с коаксиальным входом, так как они боле удобны в эксплуатации. Для СВЧ- генераторов характерно сравнительно небольшое перекрытие по частоте (около 2), и однодиапозонные построение. Поэтому генераторы СВЧ выпускаются серями из однотипных приборов на участки диапазона частот.

Типовая структура генератора СВЧ проста.

Важную роль в обеспечении параметров генератора играют механические узлы. Так, отсчет частоты производится по механическому счетчику, связанному с элементом перестройки частоты через устройство линеаризации. Счетчик повышает разрешающую способность индикации частоты, обеспечивает простой и наглядный отсчет. С контура задающего генератора мощность СВЧ-сигнала снимается с помощью подвижных устройств связи (емкостных или индуктивных). Однодиапазонность генератора позволяет связать механически съемники мощности с органом перестройки частоты. Введение в эту связь функциональной зависимости, обратной закону измерения мощности генератора от изменения частоты, позволяет достичь постоянства выходной мощности генератора в диапазоне частот.

Генераторы СВЧ- диапазона имеют встроенный измеритель мощности. В ряде случаев этот измеритель не подключается постоянно к источнику колебаний СВЧ. Выходной сигнал генератора перед проведшим измерений вводиться в измеритель мощности , устанавливается требуемой величины и после этого переключается в нагрузку.

Задающим генератором обычно служит отражательный клистрон. На частотах ниже 10 ГГц используется отражательный клистрон с внешним резонатором. Частоту генерации клистрона грубо перестраивают механическим способом: при использовании внешнего резонатора перемещением поршня в коаксиальном резонаторе, при внутреннем резонаторе за счет упругой деформации. Плавная перестройка частоты достигается изменением напряжения на отражателе.   Генераторы   на клистронах работают в режиме постоянной генерации, амплитудной, частотной, импульсной модуляции.